第522章新的跨越

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    车间内，沈永健按下主控台上的启动按钮。
    极低且平稳的嗡鸣声在耳边一闪而过，庞大的设备各处指示灯亮起。
    从土法光刻到接触式光刻，直至今日的步进扫描光刻，这光刻设备本身虽然越来越精致，但其体积也不断增大。
    就眼前这台的体积已不输于前些年的大型计算机。
    车间内空调机组正不断变频中，精确地将温度与湿度依旧保持在完美的恒定状态。
    这套薛福根还未展开研究的，只被他指明为之后研究方向的技术，如今在这台精密空调之中已应用运行流畅。
    “开始自检。”
    沈永健紧盯着眼前的控制屏幕，下达了指令。
    机柜嵌入的屏幕上，各项传感器数据如瀑布般刷过。
    激光干涉仪的读数瞬间锁定，气浮导轨的压力值稳定在标准区间，直线电机的响应延迟也达标。
    “自检通过，掩模台与硅片台就绪。”
    显示屏上显示出结果，卓邵文看着面前的新机器，眼中满是期待。
    “载入测试晶圆，运行L-4芯片的模拟曝光程序。”
    随着指令录入下达，涂有光刻胶的硅片送入至工作台区域。
    和上一代步进重复光刻机“静止曝光”时的顿挫感不同，这次新机器的整个曝光过程显得异常丝滑。
    众人能清晰看到在曝光的瞬间，掩模台和硅片台并没有保持静止，而是在激光干涉仪的精准定位下，进行着同步反向移动。
    而实际工作台内对晶圆的不同曝光过程，光凭肉眼可看不出区别。
    唯有等几分钟后，第一片测试晶圆曝光完成，被转送入显影与检测区，众人跟着期待起来。
    车间内依旧安静，观摩的技术骨干们再次屏住了呼吸，紧紧盯着检测仪传回的实时数据。
    “多层套刻精度：0.15微米”
    “边缘线宽均匀度误差率：1.95%”
    …
    显示器测试结果显现瞬间，卓邵文，张伟森等人便已经激动起来。
    “啪啪~！”的鼓掌声从几人之中响起。
    余下的技术骨干们也立刻激动地鼓起掌来。
    要知道上一代的步进重复光刻套刻机精度勉强只达0.5微米左右，如今直接将精度提升了两倍有余。
    哪怕还未大规模地生产测试，但良品率必然远超之前！
    “沈工，新光刻机的单片晶圆曝光时间比原先也缩短了40%。”
    “要是良品率能保证，整体生产效率至少能翻一倍。”
    沈永健看着屏幕上一系列结果，紧绷的神经终于放松下来，嘴角露出一抹笑容。
    东西是他设计的没错，但从设计到研制落成，这其中可不简单。
    尤其是光刻机这种设备，他最担心的就是有零配件不达标，尤其是部分加急进口的零配件，倘若精度不够耽误的时间可不止一点半点。
    如今新机器精度与效率的双重飞跃下，国内在微电子制造工艺上，再次有了巨大的跨越。
    毫不夸张的说，目前国内工艺已将世界先进水平拉开了巨大断层。
    光刻设备的更新，虽然众人心情都十分激动，但于厂里而言却并没有多少消息透出。
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    于外界而言更是未有丁点变化。
    唯独研发处的薛福根在厂里愈加忙碌起来。
    带着研发处的同志开始钻研起适合空调的转子式压缩机。
    微电子所内，沈永健也将注意力转到了卓邵文的L-5芯片方案上。
    这次跨越万集成度的芯片，方案早已经过多次仿真与修改，只可惜依旧还有要调整的地方。
    而芯片方案的每一次微小调整，又牵扯许多局部模块的设计，工作量反而比最初起步时还大。
    而越是到了这关键时刻，便越是要沉得住气，沈永健也加入了一线团队工作，让众人心思愈发坚定。
    ……
    瑞联国。
    这个被誉为钟表王国的国家，近日正在日瓦市的万国宫内进行着一场重要会议。
    宽敞的会议厅内，一名身着西服的中年男子挺直腰背，略显局促地等在此间。
    视线不断瞟过会议厅内，面对周围陆续走近的其他外国代表都几次起身弯腰呈45度鞠躬。
    “弗雷德先生，欢迎日后来我国旅游做客，思密达。”
    看着面前瑞联国的外交官走近，与自己握手攀谈，金士廉脸上的笑容也比刚刚自然和热情得多。
    他是南高丽国这次临时指定的外交官，原先陆军出身，少将军衔，后才转入的政府工作。
    最近十来年，南高丽国算是“隐士之国”。
    自战争后，经历内部的动荡，直至这一两年才开始改变态度，开始向外开放。
    像这种国际性的大会，金士廉是头一次参加，身上背负的国内任务很重。
    所以第一个前来到会，尽可能地与参会的其他代表们打招呼攀谈几句，留下一个好印象。
    只可惜，真正肯搭理他的不多，让他心中多了几分挫败。
    这会儿弗雷德肯主动上前，才让他心中缓和不少。
    心中也暗暗给自己打气，在全球格局里，他们亚太地区的黄皮肤国家就是不受重视。
    要放平心态…不能辜负大总统的信任。
    一番心里安慰后，金士廉迅速将一系列情绪扫除。
    直至远处大门口传来光影闪烁，耳中也跟着传来响动，这才下意识地再次起身。
    只是才一起身就有些后悔，他看清门外的参会外交代表脚步不快，这会儿到这会议桌还有一小段距离，起身的有些早了。
    更重要的是，这走进前来的似乎也只是个亚洲面孔…
    这般想法才一冒出，却发现身边原本还互相攀谈，无比随意的外交官们都纷纷从位置上起身。
    个别外交人员动作甚至要比他还早几分，这让金士廉心中好奇心迅速升起。
    看着这位气场不小的男子走近，心中不断盘算猜测起来。
    难不成是东瀛国的外交官？
    不可能！
    对方这身高可不太像啊！
    而且国内目前与东瀛国关系开始缓和，东瀛国的几位外交官他也多有打过交道。
    虽并非专职外交官，但大致情报还是知晓的。
    更别提东瀛国在眼下世界也算不上什么大国，像这般的地位和待遇根本不可能落在它头上才是。

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